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      • 紫外曝光 光刻領(lǐng)域

        2016-12-11

        激埃特光電生產(chǎn)的大尺寸紫外光學(xué)薄膜器件主要用于紫外曝光機系統中,其中紫外反射鏡采用線(xiàn)膨脹系數為(3.3士0.1)×10-6/K的高硼硅玻璃做為基底,內表面精密數控加工成形,鍍制多層硬質(zhì)氧化物薄膜

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